特許
J-GLOBAL ID：200903038605039610
カラーフィルタ基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-220376
公開番号（公開出願番号）：特開2007-034137
出願日： 2005年07月29日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】透明基板上の黒色感光性樹脂層に近接露光法(プロキシミティー)にてパターン露光し、現像処理等の一連のパターニング処理を行ってブラックマトリクスを形成する工程において、簡易的にブラックマトリクス露光パターンのパターン補正を行って露光マスクを作製してブラックマトリクスを形成するカラーフィルタ基板の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】特定部位に隣接するブラックマトリクスのパターン幅を補正した露光マスクを用いて透明基板11上にブラックマトリクス21aを形成し、さらに赤色カラーフィルタ31R、緑色カラーフィルタ31G及び緑色カラーフィルタ31Bからなる着色カラーフィルタ層30を形成してカラーフィルタ基板100を作製する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも透明基板上に黒色感光性樹脂層をパターン露光、現像等のパターニング処理を行ってブラックマトリクスを形成するブラックマトリクス形成工程と、着色感光性樹脂層をパターン露光、現像等のパターニング処理を行って複数の着色フィルタ層を形成する着色フィルタ層形成工程と、透明電極形成工程とを有するカラーフィルタ基板の製造方法において、前記ブラックマトリクス形成工程のパターン露光に使用する露光マスクの特定部位に隣接するブラックマトリクス露光パターンのパターン幅が補正されていることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02B5/20 101
, G02F1/1335 500
, G02F1/1335 505
2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA45
, 2H048BB01
, 2H048BB02
, 2H048BB06
, 2H048BB10
, 2H048BB42
, 2H091FA02Y
, 2H091FA35Y
, 2H091FB02
, 2H091FB06
, 2H091FC01
, 2H091LA12
, 2H091LA15
