特許
J-GLOBAL ID:200903038616109599

光計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山田 正紀 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-015544
公開番号(公開出願番号):特開平10-213485
出願日: 1997年01月29日
公開日(公表日): 1998年08月11日
要約:
【要約】【課題】本発明は、被検体にコヒーレント光を照射しその透過光あるいは反射光を利用してその被検体の光計測を行なう光計測装置に関し、被検体によらず短時間でスペックルの影響を有効に解消させる。【解決手段】被検体配置部15に達する前の信号光11bの光路上に配置され、信号光11bのビーム内を複数の領域に分割したときの各分割領域の位相を相互に異ならせるとともに、それら複数の分割領域の位相パターンを時間的に順次変化させる位相分布変調器14を備える。
請求項(抜粋):
コヒーレント光を出射する光源と、被検体が配置される被検体配置部と、前記光源から出射されたコヒーレント光を、前記被検体配置部を経由する信号光と、該被検体配置部を経由する光路とは異なる光路を経由する参照光とに二分するとともに、該被検体配置部を経由した後の信号光と、異なる光路を経由した参照光とを互いに重畳することにより該信号光と該参照光とが干渉した干渉光を生成する干渉光学系と、前記干渉光学系で生成された干渉光を受光する受光器と、前記被検体配置部に達する前の信号光の光路上に配置され、該信号光のビーム内を複数の領域に分割したときの各分割領域の位相を相互に異ならせるとともに、これら複数の分割領域の位相パターンを時間的に順次変化させる位相分布変調器とを備えたことを特徴とする光計測装置。
IPC (2件):
G01J 9/02 ,  G01N 21/45
FI (2件):
G01J 9/02 ,  G01N 21/45 A
引用特許:
審査官引用 (2件)

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