特許
J-GLOBAL ID：200903038627706424
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-079373
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243654
出願日： 1996年03月08日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 周波数応答性が良好で、信頼性の高い加速度センサを提供すること【解決手段】 加速度により変位する可動電極付きの重り部を有するシリコン基板1の両側に固定電極を有するガラス基板2,3を接合して形成されるセンサチップ11を、ベースプレート13の上に固定し、ベースプレートの上部にカバー14を被せ、両者13,14をハーメチックシールし密封する。この密封処理を減圧空間内で行うことにより、パッケージの内部を減圧状態にする。センサチップに形成されたスルーホール9を介してセンサチップの周囲と内部が導通されているが、そのセンサチップの内部は、パッケージ内の減圧状態となるので、重り部が変位する際に気体の粘性を受けにくくなり、周波数応答性が良好となる。また、パッケージの外部の雰囲気の状態に関係なく内部空間は安定しているので、長期にわたって、安定した特性が得られる。
請求項（抜粋）：
加速度を受けて変位する重り部を有し、その重り部の変位量に応じた信号を出力可能としたセンサチップを、密閉されたパッケージの内部に封入し、前記パッケージの内部が減圧状態に保持されていることを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/02
, G01P 15/125
, H01L 29/84
G01P 15/02 A
, G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
