特許
J-GLOBAL ID：200903038629374976
金属酸化物薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291308
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087304
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】 ゾルゲル法による金属酸化物薄膜の作製において、低温で緻密化や結晶化が実現できるプロセスを提供する。【解決手段】 金属酸化物ゲル膜を47kPa以上1MPa以下の水蒸気雰囲気下で、60°C以上180°C以下の温度で熱処理することによって緻密化が行われる。金属酸化物ゲル膜は、加水分解性の金属化合物と水との反応によって作製され、一般式M(OR)nの金属アルコキシドを用いることができる。
請求項（抜粋）：
金属酸化物ゲル膜を水蒸気雰囲気下、47kPa以上1MPa以下の圧力、60°C以上180°C以下の温度で熱処理することを特徴とする金属酸化物薄膜の製造方法。
IPC (4件)：
C01B 13/32
, B01J 19/00
, C01B 33/12
, C01G 23/04
C01B 13/32
, B01J 19/00 F
, C01B 33/12 C
, C01G 23/04 C
