特許
J-GLOBAL ID:200903038660719949

カーボンナノチューブの作製方法及びその固定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人エクシオ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-262727
公開番号(公開出願番号):特開2007-076925
出願日: 2005年09月09日
公開日(公表日): 2007年03月29日
要約:
【課題】 カーボンナノチューブ(CNT)と基板との密着性が向上されて、基板表面に触れた程度では剥がれず、さらに強めの衝撃にも密着性が損なわれず、また、導電性も熱伝導性も良く、接触抵抗も低いCNTの作製方法及び固定方法の提供。【解決手段】 CNT成長温度より高い融点を有する金属の膜及びこの金属膜の上に触媒を設けた基板上にCNTを成長せしめ、次いでこの金属膜を溶融せしめ、CNTの下端部分をこの溶融金属で被覆し、固定する。被覆されたCNTの下端部分の長さが、成長したCNTの長さの1/3以下となるようにする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板上にカーボンナノチューブを成長させる際に、基板上にカーボンナノチューブ成長温度より高い融点を有する金属の膜を形成し、この金属膜の上に触媒を設けた基板を用い、この基板上に原料ガスを供給してカーボンナノチューブを成長させ、次いで該金属膜を該カーボンナノチューブ成長温度より高い温度で溶融させ、カーボンナノチューブの下端部分をこの溶融金属で被覆し、固定することを特徴とする固定されたカーボンナノチューブの作製方法。
IPC (2件):
C01B 31/02 ,  B82B 3/00
FI (2件):
C01B31/02 101F ,  B82B3/00
Fターム (14件):
4G146AA11 ,  4G146AB08 ,  4G146AD16 ,  4G146BA11 ,  4G146BA12 ,  4G146BC09 ,  4G146BC16 ,  4G146BC33A ,  4G146BC33B ,  4G146BC34A ,  4G146BC44 ,  4G146CB23 ,  4G146CB34 ,  4G146DA03
引用特許:
出願人引用 (1件)

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