特許
J-GLOBAL ID：200903038666699222
クリーンルームおよびその運転方法
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-092962
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257289
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：
【要約】【目的】 垂れ壁やバックパネルを使用せずにクリーンルーム内に清浄度の異なる空間を共存させる。【構成】 クリーンルーム104内の清浄度の異なる複数の空間104H、104Lをバッファ空間104Bで区分し、ファンコイルユニット200により、バッファ空間の単位面積あたりの平均風速が、高清浄度エリアの単位面積あたり平均風速以下であり、かつ低清浄度エリアの単位面積あたり平均風速よりも高くなるように設定するので、垂れ壁やバックパネルなどを使用せずに、高清浄度エリアから低清浄度エリアに清浄空気の気流を偏流させるとともに、低清浄度エリアの乱流によるクロスコンタミネーションを効果的に防止できる。また低清浄度エリアやバッファ空間に設置されたファンフィルタユニットを個別に運転停止制御すれば、メンテナンス時の汚染を防止し、ランニングコストの低減が図れる。
請求項（抜粋）：
天井プレナムチャンバと床下レタンチャンバ間に構成されるクリーンルームであって、前記クリーンルームは清浄度の高い高清浄度エリアと、その高清浄度エリアの清浄度よりも相対的に低い清浄度の低清浄度エリアから構成されるとともに、前記高清浄度エリアと前記低清浄度エリアとはバッファ空間により区分され;少なくとも前記高清浄度エリアと前記バッファ空間の天井プレナムチャンバにファンフィルタユニットを設置し;そのファンフィルタユニットより、各空間における単位面積あたりの平均風速が、前記バッファ空間の平均風速は前記高清浄度エリアの平均風速以下であり、前記低清浄度エリアの平均風速は前記バッファ空間の平均風速よりも小さくなるように調整されることを特徴とする、クリーンルーム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F24F 7/06 C
, F24F 9/00 L
