特許

J-GLOBAL ID：200903038692602849

位置検出装置及び該装置を備えた露光装置

発明者： 中川 正弘 ,  菅谷 綾子 ,  田中 正司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-025327
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219354
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】 オフ・アクシス方式等のアライメントセンサにおけるベースライン変動を低減する。【解決手段】 指標マーク34が形成された指標板35を、第1対物レンズ33と落射プリズム36との間に配置し、それらの光学系を、赤外光源26を含む照明光学系が設置されたセンサ本体部11bから分離された指標対物部11cに設置する。可視照明光AL1及び赤外照明光AL2をそれぞれウエハマーク38及び指標マーク34に照射する。落射プリズム36の直下のコールドミラー37で赤外照明光AL2を反射することによって、赤外照明光AL2のもとで指標マーク34とウエハマーク38とをほぼ共役にして、ウエハマーク38からの可視の検出光LB1及び指標マーク34からの赤外の検出光LB2をそれぞれの撮像素子41,42により受光し、ウエハマーク38の指標マーク34に対する相対位置を検出する。

請求項（抜粋）：

被検物上に形成された位置検出マークからの光束を集光する集光光学系と、該集光光学系により集光された光束を光電変換する光電検出手段とを有し、該光電検出手段からの検出信号に基づいて前記位置検出マークの位置を検出する位置検出装置において、前記被検物と前記集光光学系との間に配置され、所定の指標マークが形成された基準体と、前記光電検出手段を第1の光電検出手段としたとき、前記指標マークからの光束を前記集光光学系を介して受光して光電変換する第2の光電検出手段と、を備え、前記第1及び第2の光電検出手段からの検出信号に基づいて、前記指標マークに対する前記位置検出マークの相対位置を検出することを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (7件)：

H01L 21/30 525 B ,  G03F 9/00 H ,  G03F 9/00 A ,  H01L 21/30 525 K ,  H01L 21/30 525 N ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 525 X

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-138490   出願人：株式会社ニコン