X線透視装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-050265
公開番号（公開出願番号）：特開2004-257914
出願日： 2003年02月27日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】当初にマスター画像を撮像した後、X線検出器を傾動させ、あるいは試料テーブルを回転させても、ナビゲーション機能を動作させることのできるX線透視装置を提供する。【解決手段】X線カメラ3の傾動角度0で撮像したマスター画像Mとそのときの試料テーブル2の位置情報を記憶しておくとともに、カメラ傾動機構31によりX線カメラ3を傾動させたとき、視野を維持すべく試料テーブル2を追従させて移動させるための専用の機構(補正用y軸駆動機構)23を設けることにより、カメラ傾動前の試料テーブル2のx-y駆動機構21によるx,y座標をそのまま用いてナビゲーション機能を動作させることを可能とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X線源とX線検出器の間に、X線源からのX線光軸(z軸)に直交する試料搭載面を有する試料テーブルが配置されているとともに、その試料テーブルをその試料搭載面に沿った平面上で互いに直交する2軸(x,y軸)方向に移動させるx-y駆動機構と、そのx-y駆動機構を含めて試料テーブルを上記X線光軸方向に移動させるz駆動機構と、上記X線検出器をX線源を中心として所定の方向に旋回させるように傾動させる傾動機構と、その傾動機構によりX線検出器を傾動させたとき、当該X線検出器による傾動前の視野および倍率を維持するように上記試料テーブルをX線検出器の傾動方向に沿う方向およびz方向に移動させる傾動追従手段を備えたX線透視装置において、上記X線検出器の受光面がX線光軸に直交する傾動角度0の状態で撮像したX線透視像をマスター画像として、その画像情報および当該画像の撮像時における試料テーブルの位置情報を記憶する記憶手段と、X線検出器の任意の傾動角度にて上記マスター画像上でポインティングデバイスにより指定された位置および領域情報と上記記憶手段の内容に基づき、X線検出器の傾動角度を維持した状態で指定された領域が視野となるように上記試料テーブルの移動方向と量を決定して自動的に移動させる視野変更手段を備えていることを特徴とするX線透視装置。

IPC (1件)：

G01N23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (17件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA09 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001GA04 , 2G001GA05 , 2G001GA08 , 2G001HA13 , 2G001JA06 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001PA11 , 2G001PA12 , 2G001PA14

引用特許：

審査官引用 (2件)

X線検査装置およびX線検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-068169 出願人：日立建機ファインテック株式会社
X線透視検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-099447 出願人：東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社

引用文献：

審査官引用 (4件)

“A New U-centric Radioscopy System for BGA and LSI”
“A New U-centric Radioscopy System for BGA and LSI”
“RADIOGRAPHY TESTING FOR MICRO DEFECTS WITH A PSUDO-3D X-RAY TV SYSTEM”

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