特許

J-GLOBAL ID：200903038762850039

フッ化物単結晶の製造方法

発明者： 福田 承生
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-316888
公開番号（公開出願番号）：特開2003-119095
出願日： 2001年10月15日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】引き上げ法によるフッ化物単結晶の製造において、単結晶の育成の過程で部分的に生じる多結晶化の発生を低く抑え、より高純度の結晶体を製造すること。【解決手段】原料フッ化物の溶融液から、引き上げ法により単結晶を育成するフッ化物単結晶の製造方法において、該原料フッ化物の溶融液表面に浮遊する固体不純物を、チャンバー内に設けた除去部材により掬い取る等して除去することを特徴とするフッ化カルシウム等のフッ化物単結晶の製造方法。

請求項（抜粋）：

原料フッ化物の溶融液から、引き上げ法により単結晶を育成するフッ化物単結晶の製造方法において、該原料フッ化物の溶融液表面に浮遊する固体不純物を除去することを特徴とするフッ化物単結晶の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 29/12 ,  C30B 15/00

FI (2件)：

C30B 29/12 ,  C30B 15/00 Z

Fターム (5件)：

4G077AA02 ,  4G077BE02 ,  4G077CF10 ,  4G077EH10 ,  4G077HA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-362086
  
• 特開昭56-092193
  
• フッ化物バルク単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-167116   出願人：東北大学長