特許
J-GLOBAL ID：200903038775025630
静電駆動型マイクロアクチュエータとバルブの製作方法、及び静電駆動型ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080307
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286258
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 弁体をなすフィルムの屈曲部が切断されにくいものとする。【構成】 エッチングにより作成したシリコンウエハ2Bの型を利用して弁体をなすS字形状フィルム7の原型を形成し、その後シリコンウエハ1B、2B及び3Bを選択的にエッチングしてフィルム7の駆動部を製作し、前記シリコンウエハ1B、2B及び3Bを3層に積層し、流体開口部11A及び11Bを形成する。【効果】 弁体をなすフィルムの屈曲部が切断されにくくなる。
請求項（抜粋）：
中空部が形成され一方の面に前記中空部内で屈曲可能な屈曲部を有す金属膜が設けられた第2の基板と、それぞれ絶縁層で挟まれて電極をなす第1、第3の基板とを製作し、次いで、前記第2の基板を挟んで前記金属膜が設けられた面に前記第1基板を、前記面の裏面に第3の基板を積層する手順を含んでなる静電駆動型マイクロアクチュエータの製作方法において、前記第2の基板に前記金属膜を成膜する際に、前記第2の基板の一方の面に溝部をエッチングにより形成し、該溝部を含む前記面上に前記金属膜を成膜した後、前記中空部を前記溝部が設けられている面の裏面の方向からエッチングにより形成することを特徴とする静電駆動型マイクロアクチュエータの製作方法。
IPC (3件)：
C23C 14/00
, F16K 31/02
, H01L 21/205
