塗付装置及び塗布装置の気泡抜き方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-368215
公開番号（公開出願番号）：特開2003-275659
出願日： 2002年12月19日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：

【要約】【課題】この発明は、供給管路及びノズルの気泡抜きを溶液を廃棄せずに行なうことができる塗付装置を提供することにある。【解決手段】溶液をインクジェット方式によって噴射するノズル56を有するヘッド9と、溶液メインタンク33と、この溶液メインタンク33と上記ヘッドとを接続しこのヘッドに上記溶液を供給する供給管路30と、上記ヘッドの上記ノズルが開口したノズル面20を液密に封止可能な容器状のヘッドカバー15と、このヘッドカバーによって上記ヘッドのノズル面を封止した状態で上記ヘッドに溶液を供給することで、その溶液を回収する回収管路38とを具備する。

請求項（抜粋）：

基板に溶液を噴射塗付する塗付装置において、上記溶液をインクジェット方式によって噴射するノズルを有するヘッドと、上記溶液の供給源と、この供給源と上記ヘッドとを接続しこのヘッドに上記溶液を供給する供給管路と、上記ヘッドの上記ノズルが開口したノズル面を液密に封止可能な容器状のヘッドカバーと、このヘッドカバーによって上記ヘッドのノズル面を封止した状態で上記ヘッドに溶液を供給することで、その溶液を回収する回収管路とを具備したことを特徴とする塗付装置。

IPC (7件)：

B05C 11/10 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , B05D 3/00 , B41J 2/18 , B41J 2/185 , H01L 21/027

FI (6件)：

B05C 11/10 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , B05D 3/00 B , B41J 3/04 102 R , H01L 21/30 564 Z

Fターム (45件)：

2C056EA15 , 2C056EA27 , 2C056JA03 , 2C056KB08 , 2C056KB11 , 2C056KB37 , 2C056KC20 , 2C056KD01 , 2C056KD02 , 4D075AC06 , 4D075AC07 , 4D075AC84 , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DC18 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4D075EA05 , 4D075EA19 , 4D075EA45 , 4F041AA02 , 4F041AA06 , 4F041AB01 , 4F041BA13 , 4F041BA32 , 4F041BA34 , 4F041BA59 , 4F041CA02 , 4F041CA16 , 4F041CA28 , 4F042AA02 , 4F042AA07 , 4F042AA27 , 4F042AB00 , 4F042CA01 , 4F042CA07 , 4F042CB02 , 4F042CB08 , 4F042CB20 , 4F042CC07 , 5F046JA02 , 5F046JA03 , 5F046JA27

引用特許：

審査官引用 (5件)

インクジェットプリンタの回復装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-186948 出願人：キヤノンアプテックス株式会社
インクジェット記録ヘッド用ノズル洗浄液および洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-302817 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開平1-304075

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