基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-272875
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111448
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成で床の専有面積が小さく生産性がよい基板処理装置を提供する。【構成】 4階構造の1階に搬入部1、未処理基板移替え部2、処理部3、処理ロボット31、処理済基板移替え部4、搬出部5、洗浄部10を、1〜4階にキャリア待機部6を、4階にキャリア搬送機構9を設け、1階〜4階の間でキャリアを搬送する第1、第2のキャリア搬送ロボットを1〜4階にわたって設けている。第1、第2のキャリア搬送ロボット7、8の近辺には、搬入部1、未処理基板移替え部2、未処理基板移替え部4、搬出部5、キャリア待機部6洗浄部10等が配置されている。装置内でのキャリアの搬送は、第1、第2のキャリア搬送ロボット7、8、キャリア搬送機構9により行われる。

請求項（抜粋）：

複数枚の未処理基板が収納された搬送用キャリアを装置内に搬入する搬入部と、前記複数枚の未処理基板に所定の基板処理を行う処理部と、前記処理部において前記各未処理基板を支持する基板支持手段と、前記基板支持手段に支持された各未処理基板を前記処理部内で搬送するとともに、前記処理部における基板処理を前記各未処理基板に行わせる処理ロボットと、前記未処理基板を、搬入された搬送用キャリアから前記基板支持手段に移し替える未処理基板移替え部と、前記処理部における基板処理が終了した各処理済基板を、前記基板支持手段から空の搬送用キャリアに移し替える処理済基板移替え部と、前記各処理済基板が収納された搬送用キャリアを装置外に搬出する搬出部と、装置内で、少なくとも搬送用キャリアを搬送するキャリア搬送手段と、装置内で、少なくとも搬送用キャリアを待機させるキャリア待機部と、を備えた基板処理装置において、装置をN階(Nは2以上の自然数)の多階構造で構成し、前記多階構造の1階部分に、前記搬入部と前記未処理基板移替え部と前記処理部と前記処理済基板移替え部と前記搬出部とを設け、前記未処理基板移替え部を前記処理部の一端側に、前記処理済基板移替え部を前記処理部の他端側に配置し、前記未処理基板移替え部の近辺およびその上方であって、前記多階構造の1〜N階の間で、少なくとも搬送用キャリアを搬送する第1のキャリア搬送ロボットと、前記処理済基板移替え部の近辺およびその上方であって、前記多階構造の1〜N階の間で、少なくとも搬送用キャリアを搬送する第2のキャリア搬送ロボットと、前記多階構造の2〜N階のいずれかの階に設けられ、前記第1のキャリア搬送ロボットと前記第2のキャリア搬送ロボットとの間で少なくとも搬送用キャリアを搬送するキャリア搬送機構とで前記キャリア搬送手段を構成し、前記第1のキャリア搬送ロボットまたは/および前記第2のキャリア搬送ロボットの近辺であって、前記多階構造の1〜N階の全ての階またはそのいずれか任意の階に前記キャリア待機部を設け、前記搬入部と前記搬出部を、前記第1のキャリア搬送ロボットまたは/および前記第2のキャリア搬送ロボットの近辺で、かつ、前記未処理基板移替え部または/および前記処理済基板移替え部の近辺に配置し、前記第1、第2のキャリア搬送ロボットは、それぞれの近辺に配置された前記搬入部、前記搬出部、前記未処理基板移替え部、前記処理済基板移替え部、前記キャリア待機部、前記キャリア搬送機構の間で、少なくとも搬送用キャリアを受け渡すように構成したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , G02F 1/1333 500 , G11B 7/26 521 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-249320
ウェーハ洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-268987 出願人：富士電機株式会社

前のページに戻る