研磨装置および研磨方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：筒井大和 , 小塚善高
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-198004
公開番号（公開出願番号）：特開2007-015046
出願日： 2005年07月06日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】砥石および被加工物の冷却効率を高めて高品質の研磨加工を行い得るとともに砥石の加工面のドレッシング頻度を少なくして砥石寿命を高め、砥石の砥粒に加わる面圧を調整し加工能率を向上する。【解決手段】多孔質の砥石Gの加工面Gaと被加工面Waとを接触させた状態のもとで、砥石Gと被加工物Wとを相対的に摺動させながら、被加工面Waと加工面Gとの間に形成される研磨空隙に、砥石Gの気孔を介して流体の流れを形成する。さらに、気孔を介して研磨空隙内に加圧流体の流れを発生させた状態のもとで被加工面Waを加工面Gaにより研磨加工し、気孔を介して研磨空隙内に負圧流体の流れを発生させた状態のもとで被加工面Waを加工面Gaにより研磨加工する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被加工物の被加工面を研磨加工する研磨装置であって、砥粒、結合材および気孔を有し平坦な加工面が設けられた多孔質の砥石と、前記加工面と前記被加工面とを接触させた状態のもとで、前記砥石と前記被加工物とを相対的に摺動させる駆動手段と、前記砥石が取り付けられる砥石ホルダーに形成され、前記砥石の前記気孔を介して前記加工面に連通する流体通路と、前記流体通路に接続され、前記被加工面と前記加工面との間に形成される研磨空隙に前記砥石の前記気孔を介して加圧流体を供給し前記研磨空隙に加圧流体の流れを形成する加圧流体供給手段と、前記流体通路に接続され、前記研磨空隙に前記砥石の前記気孔を介して負圧流体を供給し前記研磨空隙に負圧流体の流れを形成する負圧流体供給手段とを有することを特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 41/047 , B24B 7/04 , H01L 21/304

FI (5件)：

B24B41/047 , B24B7/04 A , H01L21/304 622E , H01L21/304 622F , H01L21/304 622K

Fターム (12件)：

3C034AA08 , 3C034BB11 , 3C034BB73 , 3C034BB87 , 3C034DD20 , 3C043BA03 , 3C043BA08 , 3C043BA09 , 3C043BA16 , 3C043BB07 , 3C043CC04 , 3C043DD02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-193174
スラリ流体用ロータリジョイント
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-151283 出願人：日本ピラー工業株式会社
層を有する研磨表面を備えた砥石車
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-530344 出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー

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