特許
J-GLOBAL ID:200903071306801864

スラリ流体用ロータリジョイント

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-151283
公開番号(公開出願番号):特開平10-339330
出願日: 1997年06月09日
公開日(公表日): 1998年12月22日
要約:
【要約】【課題】 研磨液等のスラリ流体を良好にシールさせた状態で相対回転部材間において流動させることができるスラリ流体用ロータリジョイントを提供する。【解決手段】 ジョイント本体1には、強制回転されるべき回転体2が回転自在に且つ軸線方向移動不能に連結されている。回転体2には炭化珪素製の第1密封環30が固定保持されており、ジョイント本体1には第1密封環30に直対向する炭化珪素製の第2密封環31が軸線方向移動可能に保持されている。第2密封環31の密封端部31cは、第1密封環30の密封端部30cに線接触する尖端形状に形成されている。両密封端部30c,31cの相対回転摺接作用により、その内周側領域3aと外周側領域3bとの間がシールされる。両体1,2には、内周側領域3aに開口するスラリ流体通路部分60,61からなる一連のスラリ流体通路6が形成されている。
請求項(抜粋):
ジョイント本体に、強制回転されるべき回転体を回転自在に且つ軸線方向移動不能に連結し、両体の一方に回転体と同心状の炭化珪素製の第1密封環を固定保持し、他方に、第1密封環に同心状に直対向する炭化珪素製の第2密封環を軸線方向移動可能に保持すると共に、第2密封環をその軸線方向への移動を許容しつつ相対回転不能に係止する第2密封環係止機構及び第2密封環を第1密封環へと押圧附勢する第2密封環附勢機構を第2密封環の外周側に配して設け、且つ両密封環の対向端部たる密封端部の一方を他方の密封端部に線接触する尖端形状に形成して、両密封環の相対回転摺接作用により、その内周側領域と外周側領域との間をシールするように構成し、ジョイント本体及び回転体に、夫々、前記両密封環の内周側領域に開口するスラリ流体通路部分を形成して、両スラリ流体通路部分を上記内周側領域を介して連通する一連のスラリ流体通路となしたことを特徴とするスラリ流体用ロータリジョイント。
IPC (3件):
F16D 1/02 ,  F16L 27/08 ,  H01L 21/304 321
FI (3件):
F16D 1/02 Z ,  H01L 21/304 321 E ,  F16L 27/08 Z
引用特許:
審査官引用 (6件)
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