特許
J-GLOBAL ID：200903038866037038

電圧駆動素子

発明者：
岡田 直剛

岡田 直剛 について

, 
菊池 尊行

菊池 尊行 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (2件)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-188660
公開番号（公開出願番号）：特開2007-010361
出願日： 2005年06月28日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】目的物質と相互作用する膜を有する電圧駆動素子において、同等の膜数を有する素子において成膜工程を単純化できるような構造を提供する。【解決手段】電圧駆動素子1は、電圧印加によって駆動可能な基板2、基板2上に設けられ、基板2に対して電圧を印加するための電極膜3A〜3F、および電極膜上に設けられた被膜5B〜5Fを備えている。電極膜のうち被膜によって被覆されていない露出部分が、目的物質と相互作用する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
電圧印加によって駆動可能な基板、 前記基板上に設けられ、前記基板に対して電圧を印加するための電極膜、および 前記電極膜上に設けられた被膜を備えており、 前記電極膜のうち前記被膜によって被覆されていない露出部分が、目的物質と相互作用することを特徴とする、電圧駆動素子。
IPC (6件)：
G01N 5/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22
FI (8件)：
G01N5/02 A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特公平3-40817号公報
  • 質量測定装置および方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-199214   出願人：日本碍子株式会社
審査官引用 (4件)
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