特許
J-GLOBAL ID：200903038870895375
処理用ガスの供給方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-254686
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086172
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 ガス化した処理用液体処理用ガスとして液化させることなく常に安定した状態で処理室へ供給することができる処理用ガスの供給方法を提供する。【構成】 本処理用ガスの供給方法は、ブランケットタングステン処理を行なうWF6をそのボンベ11Aから配管12Aを介して処理室2へWF6ガスとして供給する際に、上記配管12Aの内部を大気圧よりも減圧状態にし、この減圧状態の配管12Aを介してWF6ガスを処理室2内へ供給することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
処理用ガスをその供給源より配管を経由して処理室内に供給する処理用ガスの供給方法において、上記配管内を大気圧よりも減圧状態にし、この減圧状態の配管を介して上記処理用ガスを上記処理室内へ供給することを特徴とする処理用ガスの供給方法。
引用特許：
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