焦電センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 西山文俊
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-518094
公開番号（公開出願番号）：特表2006-518836
出願日： 2004年02月20日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：

強誘電/焦電センサは、このセンサの強誘電シーン素子(134)の電荷出力を、同じ温度について特定の時間にわたってシーン素子(134)のヒステリシスループ出力を複数回測定することによって求める技術を利用する。強誘電シーン素子(134)に外部交流信号を印加して、素子(134)からのヒステリシスループ出力が分極を切替える。出力コンデンサと演算増幅器の組合せなどの電荷積分回路(138)を使用して、シーン素子(134)からの電荷を測定する。好ましくは、シーン素子(134)の強誘電体は、SBTまたはその誘導体でできており、これを上部電極と下部電極の間に直接配設する。このセンサの周波数は外部交流信号によって生成され、その周波数特性のために、従来方式のエアブリッジによって素子(134)をシリコン基板から熱分離する必要がないことがあり、その代わりに好ましくは、SOG(スピン・オン・ガラス)によって熱分離する。出力コンデンサ内で過剰な電荷が蓄積されることによってセンサの出力信号電圧が飽和しないように、このセンサは、シーン素子(134)に並列な基準素子(132)を有する。交流信号の電圧が負のとき、出力コンデンサは、基準素子(132)を通して電流を流すことによって放電し、それによって基準素子(132)の分極を問い合わせ、これを各サイクルにシーン素子(134)の分極と比較し、シーン素子(134)の分極から減算する。設定した時間にわたって各サイクルに測定した分極の差を積分増幅器によって加算して、信号出力が得られる。

請求項（抜粋）：

所定の周波数で交流電圧を生成する交流電圧源と、前記交流電圧に応答し、焦電シーン素子のヒステリシスループ出力の少なくとも一部にわたって前記シーン素子を駆動する前記交流電圧に応答してヒステリシスループ電荷出力を生成し、前記交流電圧により、前記交流電圧の正負の変化に応答して前記シーン素子内で双極子の分極反転が生じるように構築され配置された、焦電シーン素子と、前記シーン素子からの前記電荷出力に応答して、前記ヒステリシスループ出力によって画定される前記ヒステリシスループ内の面積を求め、前記シーン素子からの前記電荷出力を示す信号を生成する電荷積分システムと、 SBT(ストロンチウムビスマスタンタル酸化物)、バリウムビスマスタンタル酸化物、およびランタンビスマスタンタル酸化物からなる群から選択される、前記シーン素子の強誘電層と、を備える焦電センサシステム。

IPC (4件)：

G01J 1/02 , G01J 1/44 , G01J 5/34 , H01L 27/14

FI (4件)：

G01J1/02 Y , G01J1/44 F , G01J5/34 A , H01L27/14 K

Fターム (15件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA13 , 2G065BB37 , 2G065BC03 , 2G065BC05 , 2G065BC13 , 2G065BC16 , 2G066BA01 , 2G066BA34 , 2G066BC02 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118CA16 , 4M118GA10

引用特許：

審査官引用 (4件)

特許第6339221号
半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-303630 出願人：松下電器産業株式会社
特開平4-137676

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