特許

J-GLOBAL ID：200903038887831052

接着シート並びに半導体装置及びその製造方法

発明者： 川上 広幸 ,  稲田 禎一 ,  増子 崇 ,  大久保 恵介 ,  畠山 恵一 ,  柳川 俊之 ,  加藤木 茂樹
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (8件)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-246932
公開番号（公開出願番号）：特開2004-043763
出願日： 2002年08月27日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】ダイシング工程ではダイシングテープとして作用し、半導体素子と支持部材との接合工程では接続信頼性に優れる接着シートとして作用する接着シートを提供する。【解決手段】粘接着剤層と基材層とを備え、前記粘接着剤層と前記基材層との間の接着力が放射線の照射により制御される接着シートであって、前記粘接着剤層は、(C1)放射線照射前後の粘接着剤層/基材層界面の接着強度差(放射線照射前の接着強度-放射線照射後の接着強度)が100mN/cm以上であり、かつ、以下の特性のうち少なくとも一つの特性を有してなる接着シート。(D1)放射線照射前の120°Cにおけるtanδが0.1以上、放射線照射後の180°Cにおけるtanδが0.1以上、(D2)放射線照射前の120°Cにおける貯蔵弾性率が10MPa以下、放射線照射後の180°Cにおける貯蔵弾性率が100MPa以下【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

粘接着剤層と基材層とを備え、前記粘接着剤層と前記基材層との間の接着力が放射線の照射により制御される接着シートであって、 前記粘接着剤層は、(C1)放射線照射前後の粘接着剤層/基材層界面の接着強度差(放射線照射前の接着強度-放射線照射後の接着強度)が100mN/cm以上であり、かつ、以下の特性のうち少なくとも一つの特性を有してなる接着シート。 (D1)放射線照射前の120°Cにおけるtanδが0.1以上、放射線照射後の180°Cにおけるtanδが0.1以上、 (D2)放射線照射前の120°Cにおける貯蔵弾性率が10MPa以下、放射線照射後の180°Cにおける貯蔵弾性率が100MPa以下

IPC (3件)：

C09J7/02 ,  C09J201/00 ,  H01L21/301

FI (3件)：

C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  H01L21/78 Q

Fターム (7件)：

4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004FA05 ,  4J040JA09 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040NA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 接着シート並びに半導体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-246833   出願人：日立化成工業株式会社
• 粘接着テープおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-045648   出願人：リンテック株式会社
• 接着剤組成物及び接着性シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-253898   出願人：東亞合成株式会社
• 半導体ウエハ加工用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-090171   出願人：住友ベークライト株式会社