特許
J-GLOBAL ID：200903038889055882
赤外線検出装置とその製造方法、および赤外線検出装置製造のためのエッチングモニタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-066527
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285680
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 赤外線撮像装置の赤外線検知部の支持体の支持強度をあげる。更に微細赤外線検知部の検知感度をあげる。更に赤外線検知部アレーの各素子間の分離を強化し微細化を可能とする。【構成】 シリコン基板またはその主表面上に形成された空洞上にある絶縁部材に搭載された赤外線検知部と、この絶縁部材を空洞上に保持する橋部とを備え、この橋部および絶縁部材の少なくとも一方の断面形状が段差を有するようにした。
請求項（抜粋）：
シリコン基板と、上記シリコン基板に形成された空洞と、上記空洞上部の上記シリコン基板表面の高さの空間にある絶縁部材上に設けられた赤外線検知部と、上記絶縁部材を上記空洞上に上記空洞の外側の上記シリコン基板上の部材と上記絶縁部材を結んで保持する橋部とを備え、上記橋部、及び上記絶縁部材の少なくとも一方の断面形状が段差を有することを特徴とする赤外線検出装置。
IPC (5件)：
G01J 1/02
, G01J 5/48
, H01L 27/14
, H01L 31/0248
, H01L 31/10
G01J 1/02 B
, G01J 1/02 C
, G01J 5/48 A
, H01L 27/14 K
, H01L 31/08 H
, H01L 31/10 A
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (11件)
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