特許

J-GLOBAL ID：200903038897650170

質量流量コントローラのシステムおよび方法

発明者： ルル,ジョン・エム ,  ワン,チュン ,  バレンタイン,ウィリアム・エス ,  サッジオ,ジョセフ・エイ,ジュニア
出願人/特許権者： ユニット・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  秋元 芳雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-584094
公開番号（公開出願番号）：特表2004-533049
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および/動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。

請求項（抜粋）：

質量流量コントローラの製造中に使用されたテスト動作条件と少なくとも部分的に異なるプロセス動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法であって、 テスト動作条件での質量流量コントローラの応答を確立する動作と、 プロセス動作条件で動作する質量流量コントローラの応答が実質的に変化しないように、プロセス動作条件に基づいて質量流量コントローラの少なくとも1つの制御パラメータを修正する動作と を含む方法。

IPC (2件)：

G05B11/36 ,  G01F1/00

FI (2件)：

G05B11/36 501Z ,  G01F1/00 X

Fターム (14件)：

2F030CD15 ,  2F030CF05 ,  2F030CF08 ,  2F030CF09 ,  5H004GB01 ,  5H004HA02 ,  5H004HA07 ,  5H004HB01 ,  5H004HB02 ,  5H004HB07 ,  5H004KB04 ,  5H004KC33 ,  5H004MA04 ,  5H004MA36

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 流量計及び質量流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-157595   出願人：エマーソン・エレクトリック・カンパニー
• 特開昭64-003517