特許
J-GLOBAL ID：200903038907399357

ドレッサー及びこれを用いたドレッシング装置

発明者：
小林 達宜

小林 達宜 について

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安宅 義忠

安宅 義忠 について

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田中 弘志

田中 弘志 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131785
公開番号（公開出願番号）：特開2001-315054
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：
【要約】【課題】 振動が生じにくく、また振動が生じても短時間で振動を抑制できるドレッサー及びこれを用いたドレッシング装置を提供する。【解決手段】 ドレッサー21を、大略円盤形状をなすドレッサー本体22と、ドレッサー本体22の外周下部に、その周方向に複数配置されたドレス作用部Bを有する構成とする。ドレス作用部Bを、ドレッサー本体22の周方向に不等間隔をあけて設ける。
請求項（抜粋）：
被研磨材を研磨する研磨パッドの目立てに用いられるドレッサーであって、前記研磨パッドをドレッシングするドレス作用部が、ドレッサー本体の周方向に不等間隔をあけて複数配置されていることを特徴とするドレッサー。
IPC (3件)：
B24B 37/00 ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622
FI (3件)：
B24B 37/00 A ,  B24B 53/02 ,  H01L 21/304 622 M
Fターム (8件)：
3C047BB01 ,  3C047BB16 ,  3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
引用特許：
審査官引用 (6件)
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