プローブ針の加工用研削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：平山一幸 , 篠田哲也 , 海津保三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-164735
公開番号（公開出願番号）：特開2005-001027
出願日： 2003年06月10日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

【課題】プローブ針の生産性を向上させるために、機械加工のみによって、高精度にプローブ針を研削加工により形成するようにした、プローブ針の加工用研削装置を提供する。【解決手段】加工すべきプローブ針15をその中心軸の周りに回転可能に保持するチャッキング機構20を備えた保持部12と、保持部12により支持されたプローブ針15を中心軸の周りに回転駆動する第一の駆動部12aと、保持部12により支持されたプローブ針15に対してプローブ針15を挟持するように配置された一対の回転砥石13と、回転砥石13を高速回転駆動する第二の駆動部13cと、を含んでおり、第二の駆動部13cが、各回転砥石13をそれぞれ任意の方向に回転駆動するように、プローブ針の加工用研削装置10を構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

加工すべきプローブ針をその中心軸の周りに回転可能に保持するチャッキング機構を備えた保持部と、上記保持部により支持されたプローブ針を中心軸の周りに回転駆動する第一の駆動部と、上記保持部により支持されたプローブ針に対して、プローブ針を挟持するように配置された一対の回転砥石と、上記回転砥石を高速回転駆動する第二の駆動部と、を含んでおり、上記第二の駆動部が、上記各回転砥石をそれぞれ任意の方向に回転駆動することを特徴とする、プローブ針の加工用研削装置。

IPC (3件)：

B24B5/14 , G01R1/067 , H01L21/66

FI (3件)：

B24B5/14 , G01R1/067 G , H01L21/66 B

Fターム (11件)：

2G011AA02 , 2G011AA17 , 2G011AE03 , 2G011AE22 , 3C043AA01 , 3C043AA14 , 3C043CC03 , 3C043CC11 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106DD03

引用特許：

審査官引用 (6件)

棒状ワークの研削方法及び研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-028961 出願人：光洋機械工業株式会社
研削盤
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-199856 出願人：ロロマティックエス.アー.
プローブ針のテーパ加工機
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-175568 出願人：株式会社日本マイクロニクス

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