特許

J-GLOBAL ID：200903038948489166

フォース顕微鏡用の探針

発明者： 羽根 一博 ,  柿本 雅明 ,  米田 勝実
出願人/特許権者： 日本レーザ電子株式会社
代理人 (1件)： 石黒 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318837
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157552
出願日： 1991年12月03日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：

【要約】【目的】 フォース顕微鏡の引力モードおよび斥力モードにおいて作用するフォースを大きくし、簡単な光電子工学式の検出装置でフォースを検出できる様にした、フォース顕微鏡用の探針の提供。【構成】 先端51を尖らせた探針5を先部に取り付けたカンチレバーの探針5とサンプル4との間に生じるフォースを光電子工学的に検出し、サンプル4の表面形状等を走査により観察するフォース顕微鏡に用いる探針5であって、探針5は、電気双極子モーメントeの大きな有機高分子薄膜52で、先端が被覆されている。

請求項（抜粋）：

先端を尖らせた探針を先部に取り付けた片持ち梁式のカンチレバーの前記探針と試料との間に生じるフォースを光電子工学的に検出し、前記試料の、表面の形状や表面の物性を、前記試料を走査する事により観察するフォース顕微鏡に用いる前記探針であって、該探針は、双極子モーメントの大きな薄膜で、少なくとも前記先端が被覆されていることを特徴とするフォース顕微鏡用の探針。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-190197   出願人：株式会社東芝