特許
J-GLOBAL ID：200903038988651381
走査型露光装置及びそれを用いたデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-347937
公開番号（公開出願番号）：特開平9-167736
出願日： 1995年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 ステップアンドスキャン方式を用いた露光装置でレチクル又は/及びウエハの形状を変形させることにより高解像力化を図った走査型露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】 スリット形状の照明光束で第1物体面上のパターンを照明し、該第1物体面上のパターンを投影光学系により可動ステージに載置した第2物体面上に該第1物体と該可動ステージを該スリット形状の短手方向に該投影光学系の投影倍率に対応させた速度比で同期させてスキャンさせながら投影露光する際、該投影光学系の光学特性に対応させて該第1物体又は/及び該第2物体のスキャン方向と直交する方向の形状を変形させていること。
請求項（抜粋）：
スリット形状の照明光束で第1物体面上のパターンを照明し、該第1物体面上のパターンを投影光学系により可動ステージに載置した第2物体面上に該第1物体と該可動ステージを該スリット形状の短手方向に該投影光学系の投影倍率に対応させた速度比で同期させてスキャンさせながら投影露光する際、該投影光学系の光学特性に対応させて該第1物体又は/及び該第2物体のスキャン方向と直交する方向の形状を変形させていることを特徴とする走査型露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
