特許
J-GLOBAL ID:200903039002981873
カラーフィルタの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-147548
公開番号(公開出願番号):特開2003-344635
出願日: 2002年05月22日
公開日(公表日): 2003年12月03日
要約:
【要約】【課題】 多色画像(画素)が形成された基板の非形成面側から露光して画素間に遮光像を形成するセルフアライメント法による場合に、既設画素への黒着色を回避し、鮮明で色相の良好なカラーフィルタを作製するカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】 複数の着色感光性樹脂組成物を用いて基板上に多色画像を形成する多色画像形成工程と、多色画像形成工程後に熱処理を行なう工程と、熱処理後に基板の画像形成面側に遮光性感光性樹脂組成物を設ける工程と、基板の画像非形成面側から非画像領域の遮光性感光性樹脂組成物を露光硬化する工程と、露光後の遮光性感光性樹脂組成物を現像して非画像領域に遮光像を形成する工程とを含むカラーフィルタの製造方法であって、前記着色感光性樹脂組成物がトリハロメチル基含有化合物若しくはアクリジン系化合物を含み、あるいは220°C以上で30分以上の熱処理を行なう。
請求項(抜粋):
着色感光性樹脂組成物を基板上に設け、該着色感光性樹脂組成物を画像様に露光し、現像する画像形成工程を、互いに異なる色相に着色された複数の着色感光性樹脂組成物を用いて繰り返し、多色画像を形成する多色画像形成工程と、前記基板の多色画像が形成された側に、更に遮光性感光性樹脂組成物を層状に設ける遮光性層形成工程と、前記基板の多色画像が形成されていない側から、多色画像が設けられていない領域の前記遮光性感光性樹脂組成物を露光し、硬化する裏面露光工程と、露光後の遮光性感光性樹脂組成物を現像し、前記領域に遮光像を形成する遮光像形成工程と、を含むカラーフィルタの製造方法において、前記着色感光性樹脂組成物が、トリハロメチル基含有化合物およびアクリジン系化合物の少なくとも一種を含有し、かつ前記多色画像形成工程と遮光性層形成工程との間に熱処理を行なう熱処理工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (4件):
G02B 5/20 101
, G03F 7/029
, G03F 7/031
, G03F 7/40 501
FI (4件):
G02B 5/20 101
, G03F 7/029
, G03F 7/031
, G03F 7/40 501
Fターム (21件):
2H025AA04
, 2H025AA13
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CA14
, 2H025CA28
, 2H025FA29
, 2H025FA39
, 2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA45
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 2H096AA30
, 2H096BA05
, 2H096HA01
, 2H096HA30
引用特許:
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