感光性樹脂組成物及び画像形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006385
公開番号（公開出願番号）：特開平7-191462
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】アルカリ水溶液で現像が可能であり、紫外線によるパターン露光時には十分な画像形成能を有し、かつ画像形成後は十分な紫外線吸収能を有し、得られた画像の色調に問題が無く、かつ通常の工程を変更する事なく画像形成が可能な感光性樹脂組成物を提供する。また、上記感光性樹脂組成物を使用した画像形成方法を提供する。【構成】感光性樹脂組成物が、(1)光重合開始剤もしくは光重合開始剤系、(2)エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性モノマー、(3)アルカリ性水溶液に可溶、かつ水不溶性の高分子結合剤、及び(4)約280〜450nmの波長の光を実質的に吸収せず、かつ、アルカリ水処理及び/又は加熱により該波長域の光を吸収する様になり、かつ実質的に可視域には吸収を持たない化合物の少なくとも1種を含む。

請求項（抜粋）：

(1)光重合開始剤もしくは光重合開始剤系、(2)エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性モノマー、(3)アルカリ性水溶液に可溶、かつ水不溶性の高分子結合剤、及び(4)約280〜450nmの波長の光を実質的に吸収せず、かつ、アルカリ水処理及び/又は加熱により該波長域の光を吸収する様になり、かつ実質的に可視域には吸収を持たない化合物の少なくとも1種を含む事を特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (14件)：

G03F 7/028 , G02B 5/20 101 , G03F 3/10 , G03F 7/00 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 505 , G03F 7/027 502 , G03F 7/033 , G03F 7/038 , G03F 7/30 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , H05K 3/00 , G02F 1/1335 505

FI (2件)：

H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 569 A

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平1-282544
特開昭61-176921
特開平3-231750

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