特許
J-GLOBAL ID:200903039007932927
欠陥検査方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
藤井 紘一
, 依田 孝次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-352318
公開番号(公開出願番号):特開2005-114671
出願日: 2003年10月10日
公開日(公表日): 2005年04月28日
要約:
【課題】 画像処理による欠陥検査方法であり、被検査体の表面状態に依存することなく、クラック等の欠陥の有無の検出が自動的に精度よく検査できる欠陥検査方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】 被検査体に発生するクラック等の欠陥の有無を検査する欠陥検査方法において、被検査体1の入力画像をファジィ画像とし、該ファジィ画像からノイズ成分を除去した後、二値化処理してクラック候補線分を抽出し、クラック候補線分の特徴量から該クラック候補線分がクラック等の欠陥があるか否かをファジィマッチングにより判定し、該被検査体の良否を検査することを特徴とする欠陥検査方法である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
被検査体に発生した欠陥の有無を検査する欠陥検査方法において、
被検査体の入力画像をファジィ画像とし、該ファジィ画像からノイズ成分を除去した後、二値化処理してクラック候補線分を抽出し、クラック候補線分の特徴量から該クラック候補線分がクラック等の欠陥があるか否かをファジィマッチングにより判定し、該被検査体の良否を検査することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (5件):
G01N21/88
, G06T1/00
, G06T5/00
, G06T5/30
, G06T7/00
FI (6件):
G01N21/88 Z
, G06T1/00 300
, G06T5/00 300
, G06T5/30 Z
, G06T7/00 300F
, G06T7/00 350E
Fターム (42件):
2G051AA07
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051DA06
, 2G051EA11
, 2G051EA25
, 2G051EB01
, 2G051ED11
, 2G051ED21
, 5B057AA01
, 5B057BA02
, 5B057BA29
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC01
, 5B057CE02
, 5B057CE15
, 5B057CF01
, 5B057CH08
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC01
, 5B057DC36
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096CA02
, 5L096CA14
, 5L096EA05
, 5L096EA43
, 5L096FA03
, 5L096FA06
, 5L096FA34
, 5L096FA64
, 5L096FA67
, 5L096GA12
, 5L096JA11
引用特許:
前のページに戻る