特許

J-GLOBAL ID：200903039015421699

合成石英ガラス部材の製造方法

発明者： 高野 伸一 ,  大塚 久利 ,  松尾 浩司
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-238127
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064023
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【解決手段】 多重管バーナーからの酸水素炎によって有機ケイ素化合物を火炎加水分解して、生成した合成シリカ微粒子を堆積と同時に溶融させて合成石英ガラス部材を製造する方法において、有機ケイ素化合物の原料ガス及び酸素ガスを導入する中心管及び酸素ガスを導入する2重管目の双方から導入される酸素ガス量の合計が、上記原料ガスが必要とする酸素理論量に対して0.9〜1.2倍モルであることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。【効果】 本発明によれば、原料ガス及び酸素ガスを導入する中心管及び酸素ガスを導入する2重管目の双方から導入される酸素ガス量の合計を調整したことにより、又は中心管から導入される酸素ガス量と2重管目から導入される酸素ガス量との比率を調整したことにより、合成シリカの固定率を増加することができる。

請求項（抜粋）：

多重管バーナーからの酸水素炎によって有機ケイ素化合物を火炎加水分解して、生成した合成シリカ微粒子を堆積と同時に溶融させて合成石英ガラス部材を製造する方法において、有機ケイ素化合物の原料ガス及び酸素ガスを導入する中心管及び酸素ガスを導入する2重管目の双方から導入される酸素ガス量の合計が、上記原料ガスが必要とする酸素理論量に対して0.9〜1.2倍モルであることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (2件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00

FI (2件)：

C03B 8/04 F ,  C03B 20/00 Z

Fターム (2件)：

4G014AH15 ,  4G014AH16

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-290330
  
• 特開平4-295018
  
• 合成石英ガラス部材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-100808   出願人：信越化学工業株式会社, 信越石英株式会社