特許

J-GLOBAL ID：200903095900390064

合成石英ガラス部材の製造方法

発明者： 大塚 久利 ,  滝田 政俊 ,  藤ノ木 朗
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社 ,  信越石英株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100808
公開番号（公開出願番号）：特開平6-305736
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はOH基含有量と水素分子含有量を任意に制御することができ、したがって耐紫外線特性のすぐれた合成石英ガラス部材を得ることができる合成石英ガラス部材の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、化学式RnSiX4-n、(ここにRは同一または異種の脂肪族1価炭化水素基、Xは加水分解性基、nは0〜4)で示されるシラン化合物を酸水素火炎により火炎加水分解し、生成するシリカ微粒子を回転している耐熱性基体上に堆積し、溶融ガラス化する石英ガラス部材の製造方法において、多重管構造の酸水素火炎バーナーの中心ノズルからシラン化合物、特にはアルコキシシラン化合物と酸素ガスとの混合ガスを供給し、このときにシラン化合物と水素ガスが必要とされる酸素ガス理論量に対する酸素ガス実流量の比率を変化させることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

化学式RnSiX4-n、(ここにRは同一または異種の脂肪族1価炭化水素基、Xは加水分解性基、nは0〜4)で示されるシラン化合物を酸水素火炎により火炎加水分解し、生成するシリカ微粒子を回転している耐熱性基体上に堆積し、溶融ガラス化する石英ガラス部材の製造方法において、火炎を形成させる多重管構造のバーナーの中心ノズルにシラン化合物と酸素ガスとの混合ガスを供給し、このときにシラン化合物と水素ガスが必要とされる酸素ガス理論量に対する酸素ガス実流量の比率を変化させることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (3件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  C07F 7/18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-290330
  
• 合成石英ガラス部材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-282256   出願人：信越化学工業株式会社