特許
J-GLOBAL ID：200903039017755306
電界放出型装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254341
公開番号（公開出願番号）：特開平8-096701
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 基板24上に、第一の絶縁層28、下地膜27、カソード電極17、第二の絶縁層18、下地膜29及びゲート電極19が順次被着している。そして、ゲート電極19及びその下地膜29にカソードホール20が、第二の絶縁層18に貫通孔18aが、中心軸線を一致して形成され、カソード電極17上の貫通孔18a内に略円錐台形を呈するエミッタコーン21が形成されて背面パネル16を構成する。貫通孔18aの周面の下端17a、上端19bの半径a、bとカソードホール20の半径rとの関係は、0.20≦(a-r)/r≦1.00,0.20≦(b-r)/r≦1.00としてある。【効果】 エミッタコーンの下端と貫通孔の周面の下端とは充分に離間し、エミッタコーンは所定の形状、寸法に高精度で形成され、ゲート電極とカソード電極とが短絡を起こさず、その材料がゲート電極に付着せず、ゲート電極のカソードホール上への突き出る寸法が小さく、ゲート電極の機械的強度の低下に伴う破損が防止される。
請求項（抜粋）：
第一の電極と開口が形成された第二の電極とが絶縁体を介して互いに対向し、この絶縁体に設けられかつ前記開口に中心軸線を一致して連通する貫通孔内に、前記第一の電極に接して、エネルギー粒子を放出する放出電極部が形成された構造物を有する電界放出型装置において、前記貫通孔の周囲に存在する前記絶縁体の内周面が前記第一の電極及び前記第二の電極に夫々接する第一の端部及び第二の端部から前記中心軸線迄の距離が、いずれも、前記開口に面する前記第二の電極の内周面から前記中心軸線迄の距離に較べて、前記第二の電極の前記内周面と前記中心軸線との距離の20%〜100 %だけ大きいことを特徴とする電界放出型装置。
IPC (4件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
, H01J 31/15
