特許

J-GLOBAL ID：200903039019494739

窒化アルミニウム焼結体の洗浄方法

発明者： 多中 茂明 ,  若松 哲夫 ,  沼田 吉彦
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118890
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310463
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】パーティクル除去能力に優れた窒化アルミニウム焼結体の洗浄方法を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム焼結体をリン酸塩水溶液を用いて洗浄する。

請求項（抜粋）：

リン酸塩水溶液を用いることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の洗浄方法

IPC (3件)：

C04B 35/581 ,  B08B 3/08 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

C04B 35/58 104 Q ,  B08B 3/08 Z ,  H01L 21/68 N

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 窒化アルミニウム質基板及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-165888   出願人：京セラ株式会社

審査官引用 (1件)

• 窒化アルミニウム質基板及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-165888   出願人：京セラ株式会社