特許
J-GLOBAL ID：200903039056912990

三次元形状測定装置

発明者：
保坂 光太郎

保坂 光太郎 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-166060
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344329
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 2面以上の複数の面から構成される光学素子等の各面の三次元形状を簡単にかつ高精度に測定することができる三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】 エアーベアリング7bで支持される回転軸7aとエンコーダ付きモータ7cを備えた割り出し装置7の割り出し駆動により、回転軸7aに取り付けられた測定治具2は回転して精度良く割り出されて位置決めされる。測定治具2に搭載されている測定ワーク15の測定面をプローブ1で走査することにより測定ワーク15の各測定面の三次元形状を測定する。また、測定治具2に配置された少なくとも3個以上の基準球11a、11b...の形状をプローブ1により測定することによって求められる各基準球の中心点を通る仮想平面を基準平面として、この基準平面に対する測定ワーク15の各測定面の相対位置も測定することができる。
請求項（抜粋）：
測定対象物の三次元形状を接触または非接触プローブで走査することによって測定対象物の形状を測定する三次元形状測定装置において、該測定対象物の回転割り出しを行なう手段を設け、該手段の回転軸をエアーベアリングにより支持するようにしたことを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 21/20 101 ,  G01B 21/22
FI (2件)：
G01B 21/20 101 Z ,  G01B 21/22
引用特許：
審査官引用 (4件)
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