特許
J-GLOBAL ID:200903039061965040
ガラス基板搬送装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
中前 富士男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-164828
公開番号(公開出願番号):特開2000-351449
出願日: 1999年06月11日
公開日(公表日): 2000年12月19日
要約:
【要約】【課題】 大型のガラス基板でも安全かつ多量に搬送できる安価なガラス基板の斜め積みパレットを用いたガラス基板搬送装置を提供する。【解決手段】 複数のガラス基板W及びガラス基板W間に挟んだ合紙Sとを斜め積みする斜め積みパレット10から合紙Sを取り去る合紙除去装置70と、合紙除去装置70の近傍に設けたハンドリング装置80と、斜め積みパレット10を搬入口Hからハンドリング装置80の近傍に搬送し、更にガラス基板W及び合紙Sを取り出した後の斜め積みパレット10を搬出口hに搬送するパレット搬送手段60とを有している。
請求項(抜粋):
複数のガラス基板及び該ガラス基板に挟んだ合紙とを傾斜させて積み重ねた状態で積載する斜め積みパレットから前記合紙を取り去る合紙除去装置と、前記合紙除去装置の近傍に設けて前記ガラス基板を取り出すハンドリング装置と、前記斜め積みパレットを搬入口から前記ハンドリング装置の近傍に搬送し、更に前記ガラス基板及び合紙を取り出した後の前記斜め積みパレットを搬出口に搬送するパレット搬送手段とを有することを特徴とするガラス基板搬送装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (3件):
3F030AA04
, 3F030AB04
, 3F030BB01
引用特許:
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