特許

J-GLOBAL ID：200903039086650737

テープへの細孔形成方法

発明者： 竹内 雅哉
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-289718
公開番号（公開出願番号）：特開2004-122182
出願日： 2002年10月02日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】テープに細孔を形成する場合において、細孔の周囲において盛り上がったバリを生じさせないようにする。【解決手段】テープ1の一方の面に第一のシート2を固着すると共にテープ1の他方の面に第二のシート3を固着して第一のシート2と第二のシート3とでテープ1を挟持し、レーザー光5の照射により第一のシート2から第二のシート3に至る貫通孔6aを形成してテープ1に細孔6を形成する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

テープの一方の面に第一のシートを固着すると共に該テープの他方の面に第二のシートを固着して該第一のシートと該第二のシートとで該テープを挟持し、 レーザー光の照射により該第一のシートから該第二のシートに至る貫通孔を形成して該テープに細孔を形成するテープへの細孔形成方法。

IPC (3件)：

B23K26/00 ,  H01L21/301 ,  H01L21/68

FI (4件)：

B23K26/00 330 ,  H01L21/68 N ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 P

Fターム (8件)：

4E068AF01 ,  4E068CF03 ,  4E068DA10 ,  4E068DB10 ,  5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レーザ加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-356478   出願人：新日鐵化学株式会社
• 特開平4-211145
  
• 特開平4-211145