集積型光起電力装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鳥居洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261881
公開番号（公開出願番号）：特開平11-103079
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】非晶質半導体層が薄膜化しても、裏面金属電極膜の加工不良の発生を防止する集積型光起電力装置の製造方法を提供する。【解決手段】この発明の集積型光起電力装置の製造方法は、透光性基板1の一主面上に、透明導電膜2、非晶質半導体層3及び裏面金属電極膜4をこの順序で形成した集積型光起電力装置の製造方法であって、裏面金属電極膜4上に少なくとも溶融状態で裏面金属電極膜4より硬度が高い脆性膜5を設け、透光性基板1の他主面側からエネルギービームを照射し、非晶質半導体層3、裏面金属電極膜4及び脆性膜5を除去する。

請求項（抜粋）：

透光性基板の一主面上に、透明導電膜、非晶質半導体層及び裏面金属電極膜をこの順序で形成した集積型光起電力装置の製造方法であって、前記裏面金属電極膜上に少なくとも溶融状態で裏面金属電極膜より硬度が高い脆性膜を設け、前記透光性基板の他主面側からエネルギービームを照射し、前記非晶質半導体層、裏面金属電極膜及び脆性膜を除去することを特徴とする集積型光起電力装置の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (8件)

光起電力装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-173911 出願人：三洋電機株式会社
集積型太陽電池モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-082699 出願人：鐘淵化学工業株式会社
集積化薄膜太陽電池の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-173871 出願人：鐘淵化学工業株式会社

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