特許
J-GLOBAL ID：200903057321577234
静電偏向器の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-296672
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139184
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 大きいうず電流が発生しにくい複数の電極を形成し、これら複数の電極を所定の角度関係で高精度に配置する。【解決手段】 絶縁材料の一部に外周部を除いて導電膜を被着することによって電極2A〜2Hを形成し、絶縁性の外筒4の内面の少なくとも一部に導電膜を被着する。アルミニウム製の円筒状の保持用治具1の外周部の溝1a〜1hにそれぞれ、電極2A〜2Hの凸部を差し込んだ後、止めねじ3A等を介して外筒4の内面に電極2A〜2Hの外周部を固定する。電極2A〜2Hの側面にリード線を取り付けた後、リン酸に浸すことによってリン酸で保持用治具1を溶解して除去する。
請求項（抜粋）：
複数個の電極を有し、該複数個の電極の内側を通過する荷電粒子線を偏向する静電偏向器の製造方法において、前記複数個の電極をそれぞれ外周部を除く表面の少なくとも一部に導電膜が被着された部材より形成し、絶縁材料より形成された支持部材の内面に前記複数個の電極の外周部を固定したことを特徴とする静電偏向器の製造方法。
IPC (2件)：
H01J 37/147
, H01L 21/027
H01J 37/147 C
, H01J 37/147 D
, H01L 21/30 541 B
