特許
J-GLOBAL ID:200903039130436209

物理的蒸着によるイオン性液体中の粒子の生成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-551354
公開番号(公開出願番号):特表2009-525396
出願日: 2007年01月17日
公開日(公表日): 2009年07月09日
要約:
ナノ粒子などの粒子を製造するための方法が提供される。該方法は、イオン性液体を蒸着室中へ導入する工程、および物理的蒸着により1種類もしくは複数の材料を該イオン性液体に誘導するか、または1種類もしくは複数の材料を該イオン性液体上に蒸着して、該イオン性液体中にナノ粒子を形成する工程を包含する。ナノ粒子を製造するための方法は、イオン性液体を蒸着室中へ導入する工程、該蒸着室を排気し、1および7ミクロンHgの範囲内の真空を形成する工程、ならびに1種または複数の材料を該イオン性液体に誘導するために該蒸着室中の1つまたは複数のカソードをスパッタリングし、該イオン性液体中にナノ粒子を形成する工程を包含する。本発明の組成物は、イオン性液体および物理的蒸着により該イオン性液体中に形成されたナノ粒子を含む。
請求項(抜粋):
イオン性液体を蒸着室中へ導入する工程、および 物理的蒸着により1種または複数の材料を該イオン性液体に誘導し、該イオン性液体中に粒子を提供する工程、 を含む、粒子を製造するための方法。
IPC (2件):
C23C 14/00 ,  B22F 9/14
FI (2件):
C23C14/00 Z ,  B22F9/14 Z
Fターム (25件):
4G048AA02 ,  4G048AB01 ,  4G048AD04 ,  4K017AA03 ,  4K017BA02 ,  4K017BA05 ,  4K017CA08 ,  4K017EF02 ,  4K017EG01 ,  4K029AA01 ,  4K029BA02 ,  4K029BA17 ,  4K029BA44 ,  4K029BA48 ,  4K029BA50 ,  4K029CA01 ,  4K029CA02 ,  4K029CA03 ,  4K029CA04 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DB04 ,  4K029DB21 ,  4K029DC04 ,  4K029DC39
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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