特許
J-GLOBAL ID：200903039134358563
エアフィルタ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀井 弘勝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-121202
公開番号（公開出願番号）：特開平11-309325
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】半導体工業のクリーンルーム等で使用されるエアフィルタ装置10において、小型化を図り、かつ吹出気流の均一性を向上させる。【解決手段】フィルタ濾材として圧力損失の少ないPTFEを用い、PTFEの構成を所定の範囲に特定する。それにより、フィルタ12の圧力損失を低減し、圧力損失が低減した分だけ、フィルタ12に供給される気流が導入されるチャンバ17の容積を小さくする。また、チャンバ17内に堰21を設けて、チャンバ17内で気流の大きな対流渦が生じるのを防止する。
請求項（抜粋）：
送風装置(11)、フィルタ(12)および送風装置(11)の生じる気流をフィルタ(12)に導く風路(13)を有し、フィルタ(12)を通過した気流(A2)が被送風物へ吹き出すようにしたエアフィルタ装置であって、前記フィルタ(12)は、ポリテトラフルオロエチレン多孔膜からなり、5.3cm/秒の流速で空気を通過させたときの圧力損失が2〜100mmH2 Oであり、0.10〜0.12μmのジオクチルフタレートを用いた捕集効率から下記式(1)により計算されるPF値が少なくとも8であるフィルタ濾材を含み、【数1】前記風路(13)のフィルタ(12)に臨む空間(17)は、フィルタ(12)に進入する気流の静圧を増すためのチャンバ(17)とされていることを特徴とするエアフィルタ装置。
IPC (6件)：
B01D 46/54
, B01D 39/16
, B01D 71/36
, B32B 5/18
, F24F 7/06
, H01L 21/02
B01D 46/54
, B01D 39/16 C
, B01D 71/36
, B32B 5/18
, F24F 7/06 C
, H01L 21/02 D
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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