複数のレーザのずれ検出及び補正装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小池晃 , 田村榮一 , 伊賀誠司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-523550
公開番号（公開出願番号）：特表2004-507751
出願日： 2001年08月15日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【解決手段】複数のレーザビームに関する1つ以上の個々の成分ビーム(16、18、20)が有する光学軸からの偏差を検出する装置を提供する。この装置は複数のビームに関する各成分ビームの偏差を自動的に補正する機構(14)を備える。ビームピックオフ素子、例えばピックオフコリメーティングレンズ又はビームスプリッタ(36)は、複数のビームのサンプルを分岐し、このサンプルはカラーフィルタ(90)に分岐した複数のビームを表す。ビームスプリッタ(98)は分離した成分ビームを第1の分離ビーム(100)と第2の分離ビーム(102)に分割し、第1の分離ビームと第2の分離ビームを、それぞれ第1の光検出器(70)で終了する第1の光路と第2の光検出器(72)で終了する第1の光路に分岐する。第1の光路と第2の光路の長さは所定の距離だけ異なる。コンピュータ(92)上で実行されるプログラムは、所定の距離に基づき、第1の光検出器上における第1の分離ビームの相対位置を第2の光検出器上における第2の分離ビームの位置と比較し、ビーム偏差信号を出力する。

請求項（抜粋）：

複数のビームに関する成分ビームの軸からの偏差を検出するビーム偏差検出装置において、上記複数のビームから個々の成分ビームを自動的且つ選択的に分離し、該分離された個々の成分ビームの各々を出射する第1の手段と、上記第1の手段から入射される個々の成分ビームの上記軸に対するずれを検出する第2の手段とを備えるビーム偏差検出装置。

IPC (4件)：

G01B11/00 , G02B27/18 , H01S3/00 , H01S3/101

FI (4件)：

G01B11/00 C , G02B27/18 Z , H01S3/00 A , H01S3/101

Fターム (14件)：

2F065AA07 , 2F065AA19 , 2F065AA20 , 2F065GG04 , 2F065GG23 , 2F065LL30 , 2F065NN08 , 5F072HH02 , 5F072HH09 , 5F072JJ20 , 5F072MM03 , 5F072MM20 , 5F072RR03 , 5F072YY20

引用特許：

審査官引用 (7件)

光学変調装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-071618 出願人：ソニー株式会社
複合レーザビームによるレーザ加工装置および加工法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-176500 出願人：川崎重工業株式会社
特開平1-210805

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