特許
J-GLOBAL ID:200903039192781646
速い成長速度で製造される単結晶CVDダイヤモンドに基づく新たなダイヤモンドの利用/用途
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
小林 浩
, 片山 英二
, 大森 規雄
, 鈴木 康仁
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-541326
公開番号(公開出願番号):特表2009-519193
出願日: 2006年11月15日
公開日(公表日): 2009年05月14日
要約:
本発明は、速い成長速度で製造される無色の単結晶ダイヤモンドの新たな利用および用途を対象とする。本発明はまた、速い成長速度で様々な色の単結晶ダイヤモンドを製造する方法、ならびにこのような着色した単結晶ダイヤモンドの新たな利用および用途も対象とする。
請求項(抜粋):
単結晶ダイヤモンドを含むノズルであって、前記単結晶ダイヤモンドが以下を含む方法によって製造される、ノズル。
i)成長ダイヤモンド結晶の温度が900〜1400°Cの範囲内にあるように、また高融点および高熱伝導率を有する材料で作製されたヒートシンクホルダ内にダイヤモンドを取り付けて、前記ダイヤモンドの成長表面の温度勾配を最小限に抑えるように、前記ダイヤモンドの前記成長表面の温度を制御すること、および
ii)単位H2当たり約8%から約30%を超えるCH4を含み150torrを超える雰囲気を有する蒸着チャンバ内で、ダイヤモンドの前記成長表面上にマイクロ波プラズマ化学気相成長によって単結晶ダイヤモンドを成長させること
IPC (7件):
C30B 29/04
, C23C 16/27
, C23C 16/511
, B26F 3/00
, G02B 1/02
, H01L 31/09
, B01J 3/06
FI (7件):
C30B29/04 E
, C23C16/27
, C23C16/511
, B26F3/00 K
, G02B1/02
, H01L31/00 A
, B01J3/06 E
Fターム (35件):
3C060CE00
, 4C160FF03
, 4C160FF10
, 4C160MM32
, 4G077AA03
, 4G077BA03
, 4G077DB19
, 4G077EA02
, 4G077EA05
, 4G077EA07
, 4G077ED06
, 4G077EG16
, 4G077HA13
, 4G077TA04
, 4G077TA07
, 4G077TA12
, 4G077TB07
, 4G077TC06
, 4G077TC08
, 4G077TK01
, 4K030AA09
, 4K030AA17
, 4K030BA28
, 4K030BB02
, 4K030CA05
, 4K030DA03
, 4K030FA01
, 4K030GA02
, 4K030JA06
, 4K030JA10
, 4K030KA02
, 5F088AB03
, 5F088CB03
, 5F088CB18
, 5F088LA07
引用特許:
審査官引用 (6件)
-
噴流衝合装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-342201
出願人:株式会社スギノマシン, 旭ダイヤモンド工業株式会社
-
単結晶ダイヤモンド切削工具
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-353121
出願人:賛光精機株式会社
-
切断工具インサートの製造方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願平10-508721
出願人:ドレッカー・インターナショナル・ベー・ファウ
-
特開平2-268917
-
ダイヤモンド製造用装置及び方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願2003-542679
出願人:カーネギーインスチチューションオブワシントン, ザユーエイビーリサーチファンデーション
-
特表平6-502725
全件表示
引用文献:
前のページに戻る