特許

J-GLOBAL ID：200903039205097960

工程間搬送システムおよび工程間搬送方法

発明者： 大塚 浩文 ,  尾形 良二 ,  矢鳴 太一
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-321092
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124286
出願日： 2001年10月18日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】【課題】 前工程の保管棚や次工程の保管棚、台車などに半製品が滞留することがなく、必要な工程に効率よく半製品を搬送し供給することができる工程間搬送システムを提供する。【解決手段】 プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えられた保管棚と、これら保管棚を巡回し保管棚から保管棚へと半製品を搬送する台車とを有し、プロセス装置の稼動状況および保管棚内の半製品の数にもとづいて搬送時期を決定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

プロセス装置が備えられたベイと、各ベイに備えられた保管棚と、これら保管棚を巡回し保管棚から保管棚へと半製品を搬送する台車とを有する工程間搬送システムであって、プロセス装置の稼動状況および保管棚内の半製品の数にもとづいて搬送時期を決定する工程間搬送システム。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 501 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 501 C ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/02 Z

Fターム (16件)：

3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022EE05 ,  3F022HH00 ,  3F022LL12 ,  3F022MM05 ,  3F022MM07 ,  3F022MM11 ,  3F022MM51 ,  3F022NN51 ,  3F022NN55 ,  5F031CA02 ,  5F031DA17 ,  5F031GA58 ,  5F031NA02 ,  5F031PA02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 生産管理装置および生産管理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-186437   出願人：セイコーエプソン株式会社
• ウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-035398   出願人：三菱電機株式会社, 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
• 工程間搬送装置の搬送順序の決定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-349726   出願人：日立機電工業株式会社