特許

J-GLOBAL ID：200903039212021554

基板吸着部材および装置

発明者： 伊藤 一也 ,  野口 幸彦
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-242141
公開番号（公開出願番号）：特開平10-086086
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】本発明は、載置台への基板を確実に吸着でき、精度の高い安定した基板検査を実現できる基板吸着部材および装置を提供する。【解決手段】基板吸着部141を有する中空の吸着パッド14の中空部に間隙16を介して弾性部材からなるパッド支持部材15を挿入して、吸着パッド14を弾性的に支持するとともに、吸着パッド14の所定範囲での動きを可能にするように、これら吸着パッド14およびパッド支持部材15を載置台11の吸着パッド取付け部111に押え枠体18を用いて保持している。

請求項（抜粋）：

基板吸着部を有する中空の吸着パッドと、この吸着パッドを弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材と、前記吸着パッドの所定範囲での動きを可能にして該吸着パッドを固定部材に取付ける取付け手段とを具備したことを特徴とする基板吸着部材。

IPC (2件)：

B25J 15/06 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B25J 15/06 H ,  B25J 15/06 M ,  H01L 21/68 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 吸着パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-018729   出願人：株式会社三協精機製作所
• 特開平3-012948