吸着パッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三枝弘明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-018729
公開番号（公開出願番号）：特開平8-229866
出願日： 1995年01月10日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】【目的】吸着面を出没自在に構成して突出方向に付勢することにより、ガラス基板の湾曲、反り、歪み、傾斜等にも対応でき、確実に吸着保持できる吸着パッドを提供する。【構成】基台1の取付凹部10内に台座部材2が取付けられ、この台座部材2上に吸着部材5が嵌合される。台座部材2と吸着部材5とは固定枠部材3により固定され、吸着部材5はコイルスプリング6により上方へ付勢されている。吸着部材5の吸着面にガラス基板が接触すると、排気孔11からの吸気により取付凹部10内は負圧となり、吸着部材5自体が下降する。台座部材2と吸着部材5とは、その中心孔21、環状溝22と、支持軸部52とスリーブ部材4との嵌合部によってラビリンス構造が形成され、Oリングなしでも吸着力が得られるようになっている。ただしOリングがある方が望ましい。

請求項（抜粋）：

吸着面から排気を行うことにより被吸着物を吸着するように構成された吸着パッドにおいて、前記吸着面を有する吸着部材を基台に対して所定範囲内において出没自在に取付け、前記吸着部材を前記基台に対してその突出方向に付勢するための加圧手段を設けたことを特徴とする吸着パッド。

IPC (2件)：

B25J 15/06 , B65G 49/07

FI (2件)：

B25J 15/06 H , B65G 49/07 G

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-155200
特開平3-155200
特開平2-147966

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