特許
J-GLOBAL ID：200903039221179012
ジャイロセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-358973
公開番号（公開出願番号）：特開2006-170620
出願日： 2004年12月10日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】 電源電圧の変動があっても感度や零点の補正を必要としないジャイロセンサを提供する。【解決手段】 CV変換部3と、センシングエレメント1の素子感度に関わる電圧を発生する、高電圧発生部6と駆動バッファ5では、電源電圧VCCに依存しない第1基準電圧VrefAを用いて信号処理を行い、駆動信号制御部4、出力信号生成部7では、電源電圧VCCに比例した第2基準電圧VrefBを用いて信号処理を行うと共に、可動部11の振動状態を電源電圧VCCに比例した目標値となるよう一定に保つ振幅一定制御を行うことで、感度や零点が電源電圧VCCの変動に応じた大きさとなる出力信号VYAW を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
予め設定された可動平面に沿って変位可能な可動部と、該可動部に接続された可動電極と、前記可動平面内の予め設定された駆動方向に沿って前記可動部を振動させる静電気力を、前記可動部との間に発生させるための駆動電極と、前記駆動方向に沿った前記可動部の変位に応じて容量が変化するモニタ用可変容量キャパシタを前記可動部と共に形成するモニタ電極と、前記可動平面内にて前記駆動方向に直交する直交方向に沿った前記可動部の変位に応じて容量が変化するセンス用可変容量キャパシタを前記可動部と共に形成するセンス電極とを備えたセンシングエレメントを用いて、前記可動平面に直交する軸を中心とした回転の角速度を検出する静電駆動・容量検出型のジャイロセンサであって、
外部から供給される電源電圧の大きさによらず一定値となる固定基準電圧を発生させる基準電圧発生手段と、
前記固定基準電圧を増幅することで、前記可動電極に印加するバイアス電圧を生成するバイアス電圧生成手段と、
前記駆動電極に印加され、前記固定基準電圧に比例したオフセット電圧を有する駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、
前記固定基準電圧に比例したオフセット電圧を有し、前記モニタ用可変容量キャパシタの容量変化に従って電圧レベルが変化するモニタ信号、及び前記センス用可変容量キャパシタの容量変化に従って電圧レベルが変化するセンス信号を生成する容量・電圧変換手段と、
前記モニタ信号に基づいて、前記可動部の振動が継続するように前記駆動信号の位相を制御する位相制御手段と、
前記モニタ信号の振幅又は該モニタ信号を微分してなるシフト信号の振幅が、前記電源電圧に比例した目標値と一致するように前記駆動信号の振幅を制御する振幅制御手段と、
前記電源電圧に比例したオフセット電圧を有し、前記センス信号に基づいて電圧レベルが変化する出力信号を生成する出力信号生成手段と、
を備えることを特徴とするジャイロセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2F105BB08
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
出願人引用 (1件)
-
マイクロマシン加工デバイス
公報種別：公表公報
出願番号：特願2000-508958
出願人：アナログデバイセスインコーポレーテッド
審査官引用 (3件)
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