静電容量検出型振動ジャイロ、および静電容量変化検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：町田袈裟治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102476
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309280
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】供給電源電圧の変動に対する検出信号の電源依存精度を向上させた静電容量検出型振動ジャイロを提供する。【解決手段】印加された角速度に応じて変化するセンサ素子2の静電容量を検出する静電容量検出回路3を備え、この検出回路3は演算増幅器A1,A2の反転入力端子にセンサ素子2の検出電極11a,11bを接続し、また、非反転入力端子に供給電源電圧Vccを抵抗分割した電圧をバイアス電圧Vbとして印加し、このバイアス電圧Vbを演算増幅器A1,A2のイマジナリショートによって検出電極11a,11bに加えることでバイアス電圧Vbが供給電源電圧Vccに依存するように構成している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

角速度が加わることで検出電極と基準電極との間の静電容量が変化するセンサ素子と、このセンサ素子の静電容量の変化を検出する静電容量検出回路とを含む静電容量検出型振動ジャイロにおいて、前記静電容量検出回路の検出バイアス電圧を供給電源電圧に依存するように構成していることを特徴とする静電容量検出型振動ジャイロ。

IPC (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (7件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB02 , 2F105CC06 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11

引用特許：

審査官引用 (8件)

振動型角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-199527 出願人：株式会社デンソー
比率トランスジューサ及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-219149 出願人：ベイエレクトロニクスインコーポレイテッド
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-337437 出願人：株式会社村田製作所

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