特許

J-GLOBAL ID：200903039246506700

透明材料中の欠陥の形状及び位置の計測方法

発明者： 伊達 健
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-360632
公開番号（公開出願番号）：特開2007-163315
出願日： 2005年12月14日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】 金属フッ化物単結晶からなるレンズ硝材などの透明材料中に存在する欠陥のXYZ座標位置及びその形状を迅速にかつ正確に評価する。【解決手段】 被検体(透明材料)のZ軸延長線上であって、その焦点面がXY平面と平行となる位置にカメラを配置し、透過光照明下に該焦点面が存在するZ座標位置のXY平面を撮影するステップと、カメラと被検体との相対的なZ座標位置を変化させるステップとの2つのステップを交互に繰り返し、撮像と該像を撮影した時点のカメラと被検体との相対的なXYZ座標位置とから、該被検体中に存在する欠陥の形状及びそのXYZ座標位置を計測する。得られた撮像の形状から欠陥の原因を、撮影した被検体とカメラの相対位置から欠陥の位置を把握できる。位置情報と原因情報が同時に得られるため欠陥を生じた原因が把握しやすく、製造条件の改善が容易となる。また相対的に欠陥の少ない最終製品に加工することも容易である。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

透明材料中に存在する欠陥の形状及び、そのXYZ座標位置を計測する方法であって、 被検体である透明材料のZ軸の延長線上であって、その焦点面がXY平面と平行となる位置にカメラを配置し、該Z軸の延長線上であって被検体を挟んだ反対側から該カメラ方向に光を照射しつつ、 (I)前記カメラにより、該焦点面が存在するZ座標位置のXY平面を所定の範囲撮影するステップと、 (II)カメラと被検体とのZ座標方向の相対位置を変化させるステップ、 との2つのステップを交互に繰り返し、 撮像と、該像を撮影した時点のカメラと被検体との相対的なXYZ座標位置とから、該被検体中に存在する欠陥の形状及びそのXYZ座標位置を計測する方法。

IPC (4件)：

G01N 21/958 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G01M 11/00

FI (4件)：

G01N21/958 ,  G01B11/24 K ,  G01B11/00 H ,  G01M11/00 T

Fターム (17件)：

2F065AA04 ,  2F065AA51 ,  2F065BB22 ,  2F065CC22 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ19 ,  2F065MM01 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051EA12 ,  2G086EE12 ,  2G086FF05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ガラス基板内欠陥の深さ方向位置検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-432528   出願人：三星コーニング精密琉璃株式会社