特許
J-GLOBAL ID：200903009198307575
ガラス基板内欠陥の深さ方向位置検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-432528
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361384
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】 カメラの焦点面をガラス基板の表面から内部に移動させながら撮影された欠陥の映像に基づいて欠陥の深さ方向位置を正確に算出して、微細な欠陥の鮮明な映像を取得することにより、ガラス基板の良否を正確且つ素早く判断できるようにする。【解決手段】 ガラス基板表面の欠陥の存在する位置にカメラの焦点を一致させ、焦点面を表面から裏面側に移動させつつ欠陥を撮影した映像を用いて、欠陥と背景との境界における明度勾配をガラス表面からの移動距離に対する勾配指標GI値として算出し、勾配指標GIの最大値に対応する移動距離を欠陥の深さ方向位置として決定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
カメラを用いてガラス基板内欠陥の深さ方向の位置を検出する方法であって、
前記欠陥の位置する前記ガラス基板の一方の面に対して、前記カメラの焦点面を一致させる第1のステップと、
前記カメラの焦点面を前記ガラス基板の一方の面の方から他方の面の方へ一定距離分移動させる第2のステップと、
前記焦点面を一定距離移動させた前記カメラで前記欠陥を撮影する第3のステップと、
前記カメラで撮影された映像を用いて、欠陥と背景との境界における明度勾配を計算し、前記ガラス基板の表面から前記カメラの焦点面が移動した距離に対応する勾配指標GIの値を算出する第4のステップと、
前記ガラス基板の表面から前記カメラの焦点面が移動した距離と前記ガラス基板の厚さとを比較する第5のステップと、
前記第5のステップにて、前記ガラス基板の表面から前記カメラの焦点面の移動距離が前記ガラス基板の厚さを超えると、前記勾配指標GIの値の中から最大値に対応する前記ガラス基板の表面から前記カメラの焦点面の移動距離を、欠陥の深さ方向位置として決定する第6のステップとを含むことを特徴とするガラス基板内欠陥の深さ方向位置の検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (21件)：
2F065AA06
, 2F065AA49
, 2F065BB01
, 2F065BB22
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065HH00
, 2F065JJ26
, 2F065MM24
, 2F065QQ08
, 2F065QQ25
, 2F065QQ33
, 2F065QQ42
, 2G051AA42
, 2G051AB06
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051EA12
, 2G051EA16
, 2G051ED14
, 2G051ED22
