特許

J-GLOBAL ID：200903039259526590

基板処理装置および半導体装置の製造方法

発明者： 油谷 幸則
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-116043
公開番号（公開出願番号）：特開2009-267153
出願日： 2008年04月25日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：

【課題】ポッドの有無を確実に検出する。【解決手段】ポッド2を開閉するポッドオープナが設置されたロードポートに、ポッド2を載置しポッドオープナに対して遠近動作する内側載置ユニット15と、内側載置ユニット15と別体でポッド2を載置しポッドオープナに対して並行方向に昇降動作する外側載置ユニット17とを設け、内側載置ユニット15には内側載置ユニット15上のポッド2を検出する内側検出器91を設け、外側載置ユニット17上のポッド2を検出する外側検出器92を設ける。内側載置ユニットの進退中および前進後においても内側載置ユニット上のポッドを検出できる。外側載置ユニットの昇降中においても外側載置ユニット上のポッドを確実に検出できる。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

複数の基板を収納し基板出し入れ口を蓋体によって塞がれた収納容器と、 筐体内と外との間で、該収納容器の搬入搬出が行われるロードポートと、 該ロードポートで前記収納容器の前記基板出し入れ口の開閉を行う開閉装置と、 前記ロードポートで前記収納容器を載置し、前記開閉装置に対して対向方向に遠近動作する第一載置ユニットと、 前記第一載置ユニットとは別体として設けられ、前記ロードポートで前記収納容器を載置し、前記開閉装置に対して並行方向に昇降動作する第二載置ユニットと、 前記第二載置ユニットに設けられ、前記第一載置ユニットおよび前記第二載置ユニットに載置された前記収納容器を検出する検出器と、 を備える基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/44

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/31 B ,  C23C16/44 F

Fターム (53件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030GA13 ,  4K030KA04 ,  4K030KA39 ,  4K030LA15 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA11 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA45 ,  5F031GA48 ,  5F031GA58 ,  5F031HA37 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031HA62 ,  5F031HA64 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031JA46 ,  5F031JA51 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031MA02 ,  5F031MA13 ,  5F031MA15 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA10 ,  5F045AA06 ,  5F045AE01 ,  5F045BB08 ,  5F045DP19 ,  5F045DP28 ,  5F045DQ05 ,  5F045EK06 ,  5F045EN04 ,  5F045EN05 ,  5F045EN06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-189380   出願人：株式会社日立国際電気