基板保持装置及び該基板保持装置を備えたポリッシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-262796
公開番号（公開出願番号）：特開平11-077522
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：

【要約】【課題】ロータリジョイントをトップリング駆動軸とは別個のユニットとすることにより、トップリング駆動軸に特別な加工を施す必要がなく、ロータリジョイントが損耗した場合に容易に取り替えることができる基板保持装置および該基板保持装置を具備したポリッシング装置を提供する。【解決手段】ポリッシング対象物である基板を保持してターンテーブル上の研磨面に押圧する基板保持装置1において、基板を保持するトップリング本体10と、トップリング本体10を回転駆動するとともにターンテーブルに対して押圧する駆動軸12と、駆動軸12の上端部に着脱可能に設けられ外部の流体源54との間で流体の授受を行うロータリジョイント70と、駆動軸12内に設けられロータリジョイント70とトップリング本体10に形成された連通孔とを連通させる連通路とを備えた。

請求項（抜粋）：

ポリッシング対象物である基板を保持してターンテーブル上の研磨面に押圧する基板保持装置において、前記基板を保持するトップリング本体と、該トップリング本体を回転駆動するとともにターンテーブルに対して押圧する駆動軸と、該駆動軸の上端部に着脱可能に設けられ外部の流体源との間で流体の授受を行うロータリジョイントと、前記駆動軸内に設けられ前記ロータリジョイントとトップリング本体に形成された連通孔とを連通させる連通路とを備えたことを特徴とする基板保持装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

ポリッシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-044199 出願人：株式会社荏原製作所

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