特許

J-GLOBAL ID：200903039312896310

研磨装置

発明者： 佐々木 彰法
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-104988
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303797
出願日： 2002年04月08日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】 研磨工具のドレッシング作業を手作業によることなく実施することができる研磨装置を提供する。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨するための研磨工具を備えた研磨ユニットとを具備する研磨装置であって、研磨工具をドレッシングするためのドレッサーボードを保持し、該ドレッサーボードをチャックテーブルとチャックテーブルから離間した待機位置とに搬送するドレッサーボード搬送機構を備えている。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研磨するための研磨工具を備えた研磨ユニットと、を具備する研磨装置において、該研磨工具をドレッシングするためのドレッサーボードを保持し、該ドレッサーボードを該チャックテーブルと該チャックテーブルから離間した待機位置とに搬送するドレッサーボード搬送機構を備えている、ことを特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  B24B 53/02

FI (3件)：

H01L 21/304 622 M ,  B24B 37/00 A ,  B24B 53/02

Fターム (8件)：

3C047AA34 ,  3C047FF08 ,  3C058AA02 ,  3C058AA09 ,  3C058AA19 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 平面加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-195943   出願人：株式会社東京精密